При анализе результатов EBSD-сканирования будьте осторожны с выводами о распределении зёрен по размерам, и, в частности, о среднем размере зёрен, в том случае, если поверхность образца подготовлена
Show more некачественно.
Ниже две EBSD-карты одного и того же образца стали. Первая карта получена после финальной полировки, выполненной механическим способом; вторая - после финальной ионной полировки в установке SEMPrep2 от LINDA Technoorg. В первом случае индексировано < 50% точек и средний размер зерна определён как 0.35 мкм. Во втором случае индексировано 93.5% точек и средний размер зерна определён как 0.65 мкм. Разница в 2 раза в оцениваемом среднем размере зёрен. Ширина поля обзора в обоих случаях одинакова и составляет 25 мкм.
В чём причина расхождения в оценке размеров зёрен? Вероятнее всего, в том, что качество механической полировки недостаточно для EBSD, половина пикселей не индексируется, из-за чего зёрна получаются прерывистыми; мы наблюдаем не зёрна, а обломки зёрен, отсюда и занижение среднего размера зерна.
В качестве критерия размера зерна выбран параметр ЭДО (по-англ. ECD) - диаметр эквивалентного круга, т.е. диаметр круга такой же площади, как и площадь измеряемой частицы. ECD - это удобный способ ввести понятие "размер" для бесформенной частицы, с которой непонятно, какую из её хорд принять за размер.
P.S.: Изложенное предостережение очевидно. Но одно дело предполагать, а другое - наткнуться на это при исследовании реального образца.
Покровская родительская суббота.
